Indigo Optical Systems GmbH

Kontakt

• Telefon: 0151/10160886
• E-Mail: info(at)indigo-optics.com
• Internet: www.indigo-optics.com
• Standortanschrift: Moritz-von-Rohr-Str. 1 a, 07745 Jena
• Gesetzlicher Vertreter: Herr Dr. Martin Wünsche (Geschäftsführer)
• Ansprechpartner: Herr Dr. Martin Wünsche (Geschäftsführer)

Tätigkeiten

- Entwicklung, Herstellung und Vertrieb von kundenangepassten optischen Geräten
- Dienstleistungen im Bereich technisches Design
- Zerstörungsfreie und nanoskopische EUV-Inspektion/Metrologie von Halbleiterstrukturen

Produkte

Optische Instrumente für das Vakuum-Ultraviolett (VUV), das extreme Ultraviolett (XUV) und weiche Röntgen (SXR):
- Spektrometer/Monochromatoren
- Beamlines/Strahlführungsanlagen
- Polarisatoren
- Detektoren

Kooperationen

- Das Unternehmen sucht Industriepartner und Geldgeber für die Entwicklung der EUV-Metrologie für die Halbleiterindustrie von TRL 4/5 auf TRL 9.

FuE-Schwerpunkte

- Zerstörungsfreie nanoskopische EUV-Inspektion/Metrologie von Halbleiterstrukturen